| 負壓槽尺寸圖[mm] | φ1300 | φ1550 |
| 傘架尺碼[mm] | φ1150 | φ1400 |
| 體積大小[mm] | W4,500×D6,000×H2,730 | W4,900×D6,500×H3,166 |
| 食用量[kg] | 6,546 | 9,301 |
| 排氣口體系中 | 22 inchDP×2邁斯納冷阱 | 26 inchDP×2邁斯納冷阱 |
| 基鋼板加熱 | 鹵化燈 or 升溫絲 ~350℃ | |
| 電子槍 | 180° or 270°方位型 | |
| 陰陽離子源 | 柵網式RF正離子源 φ130,180,230 | |
| 光學儀器膜厚儀 | Lafio Plus | |
| 黑曜石膜厚儀 | 單 or 六連紅外探頭 + COAT LEADER | |
| 此外 | CP規格參數，TMP規格參數，轉動板平臺，自公轉冶具, 阻蒸，直連網絡監控, ECO22 | |
